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“欺骗”物理极限--ASML的控光艺术
150 年前,一位 26 岁的物理讲师证明了:无论镜片磨得多完美,光本身就拒绝让你看清更小的东西。
这期视频,我们从阿贝的衍射极限出发,讲清楚光刻机最核心的一个问题:芯片上的线条,为什么能比"物理极限"还细?
▍你会看到:
· 数值孔径(NA)到底是什么,为什么加水也能提升它
· 为什么成像至少需要两束衍射光——k₁ = 0.5 的极限从哪来
· 离轴照明:把 0.5 压到 0.25 的"作弊"手法,原理其实就写在阿贝 1873 年论文里
· FlexRay:光刻机里几千面可动小镜子是干什么的
·…
这期视频,我们从阿贝的衍射极限出发,讲清楚光刻机最核心的一个问题:芯片上的线条,为什么能比"物理极限"还细?
▍你会看到:
· 数值孔径(NA)到底是什么,为什么加水也能提升它
· 为什么成像至少需要两束衍射光——k₁ = 0.5 的极限从哪来
· 离轴照明:把 0.5 压到 0.25 的"作弊"手法,原理其实就写在阿贝 1873 年论文里
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·…
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