路透证实The Information 报道，中国开始量产国产浸没式DUV光刻机

据路透报道。中国已开始批量生产自主研发的浸没式深紫外光刻机（DUV）。

鲜为人知的中国国有企业上海艾晟纳电子科技集团整合了多家中国主要光刻机创业公司的团队，目前正牵头推进生产。

此前美国科技行业新闻媒体The Information周一率先报道了中国国产浸没式DUV光刻机的进展。报道说，上海一家身份未公开、获得国家支持的企业已经开始制造这种设备，计划今年生产约5台，2027年生产约20台。

路透报道首次披露这家企业的名称。

DUV光刻机是芯片制造的关键设备，这一领域长期由阿斯麦主导。

知情人士说，艾晟纳生产的DUV光刻机仍需进一步测试，性能与阿斯麦同类机型相比还有很大差距。

不过，如果设备能够成功投入使用，一旦西方政府进一步限制外国光刻机的出口或维修服务，中国芯片制造商将获得另一个设备来源。

The Information援引两名知情人士的话报道，中国制造的DUV光刻机预计今年将交付给中芯国际、华虹半导体和存储芯片制造商长鑫存储等中国主要芯片企业。

这类设备可用于生产多种芯片，也可以通过多重图形化技术制造更先进的半导体。多重图形化需要对同一层晶圆进行多次曝光。

受The Information报道影响，阿斯麦股价继周一下跌8% 后，周二再跌 4.5%。

韩国首尔综指大跌8%，接近触发熔断 。
SK海力士跌逾17%，创纪录最大单日跌幅。